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半導體等離子去膠機

簡要描述:半導體等離子去膠機通過對工藝氣體施加電場使電離化為等離子體。等離子體的“活性"組分包括:離子、電子、原子、自由活性基團、激發態的核素(亞穩態)、光子等。等離子處理就是通過利用這些活性組分的性質進行氧化、還原、裂解、交聯和聚合等物理和化學反應改變樣品表面性質,從而優化材料表面性能,實現清潔、改性、刻蝕等目的。

  • 產品型號:SPA-5800
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2024-07-30
  • 訪  問  量:3114

詳細介紹

一、等離子體介紹

1.1產品原理

通過對工藝氣體施加電場使電離化為等離子體。等離子體的“活性”組分包括:離子、電子、原子、自由活性基團、激發態的核素(亞穩態)、光子等。等離子處理就是通過利用這些活性組分的性質進行氧化、還原、裂解、交聯和聚合等物理和化學反應改變樣品表面性質,從而優化材料表面性能,實現清潔、改性、刻蝕等目的。

1.2行業應用
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二、產品介紹

2.1產品概述

半導體等離子去膠機(Plasma cleaner)是國內的“數字化大氣等離子清洗機”,一款擁有強大的“CPU”的大等離子清洗機。采用穩定性高的移相全橋軟開關電路,擁有數字通信及模擬通信兩種數據傳輸方式,通過ARM芯片強大的數據處理功能,實現設備數字化控制,客戶產線,可達到中央控制系統統一監控,使清洗效果更穩定、更持久,抗干擾性能增強,減低故障率,控制維護成本,提高產能,有效減低生產成本。

2.2產品優勢

1、軍工級硬件設計,使用環境溫度范圍可達到-25℃-50℃,適應不同的嚴苛場景,MTBF時間可達到≥190Khrs MIL-HDBK-217F(25℃);
2、數字化控制,顯示屏顯示,實時監控,抗干擾強;
3、采用TI品牌的移相全橋軟開關電路和PFC功率因素校正,相對模擬硬開關電路效率可提高10%以上,響應時間小于0.1s,抗干擾性強;
4、搭載ST品牌的ARM芯片,人機交互簡單明了,強大的遠程調試通訊功能,無縫對接任意的應用場景,自主研發的軟件對實時采集的數據進行智能判斷并協調工作,可實現功率自匹配,穩定無變化;
5、支持RS-485/232數字通信接口和模擬通信接口,強大的遠程通信功能;
6、具有6種檢測功能:氣壓檢測、主板溫度檢測、變壓器弧壓檢測、變壓器初級峰值電流檢測,電網電流檢測,噴槍轉速檢測;
7、具有十余種故障報警功能,故障排查定位時間縮短80%以上;
8、等離子發生器同時支持射流噴槍、旋轉噴槍及線性寬幅,一鍵設置,隨時變換;
9、具有過溫防護、過載防護、短路、斷路、漏電防護、各種誤操作保護等防護功能。

2.3產品結構

  結構:高壓數字電源發生器、等離子發生裝置噴槍與控制系統組成。

(A)高壓數字電源發生器:

等離子體的產生需要高壓激勵,本產品采用中頻電源進行激勵,數字化控制方式,可實現功率自匹配,保證功率的穩定輸出,且輸出精度高,輸出功率不受氣壓波動,市網電壓波動,噴槍電極老化等影響。參數需根據樣品實際情況進行調節,以便達到處理效果。

(B)等離子發生裝置噴槍:

  半導體等離子去膠機搭配高速旋轉噴槍:主要處理大面積、形狀較復雜的材料,處理面積范圍20-80mm,可與原有的生產流水線搭配,實現全自動在線生產,節約人力成本。

(C)控制系統:

 控制系統作用在于控制SPA-5800大氣等離子清洗機的運行,以及整體系統的保護。

2.4產品規格

大氣等離子主機

設備尺寸

L580*W480*H149mm

重量

10KG

需求電源

電源:單相AC220V,50/60Hz, 10A,接地電阻小于4Ω

等離子發生器規格

電源功率

600-1000W可調(依據負載情況設定范圍)

電源頻率

50/60Hz

遠程通信方式

支持485接口,232接口,并有模擬通信接口

控制方式

數字控制,可選本地控制與遠程控制

等離子槍頭規格

處理寬度

20-90mm

槍頭尺寸

L308*W76*H149mm

重量

6.5KG

槍頭可調節高度

5-15mm

氣壓范圍

標準0.2MPA,0.08~0.25MPA可調

工藝氣體

使用氣體

CDA或者N2

檢測與報警

檢測

氣壓檢測、主板溫度檢測、變壓器弧壓檢測、變壓器初級峰值電流檢測,電網電流檢測,噴槍轉速檢測

報警

具備轉速、溫度、電壓、氣壓、過載、漏電、功率不匹配、短路、開路、過流等保護功能

設備尺寸圖紙

2.5.1槍頭尺寸圖

2.5

image.png


2.5.2電源尺寸圖
image.png

三、規格要求

3.1 廠務規格要求

廠務規格要求

需求電源

電源:單相AC220V,50/60Hz, 10A,接地電阻小于4Ω

廠務排氣

流 量 :5m³/min

材質:耐腐蝕材質

廠務壓縮空氣要求

管徑:8mm

材質:PU 管

壓力:0.4-0.6MPa

氣源質量應該滿足:固體顆粒粒徑<=0.1um,含油量<=0.01mg/m³,壓力露點-40°C以下

3.2

 

配置清單

序號

名稱

型號和規格

數量

備注

1

主機發生器

SPA-5800

1

2

常規槍頭

按客戶要求配備

1

3

普通噴嘴

按客戶要求配備

1

PCS

4

金屬波紋管長

線長3.5M

1

5

送貨單

紙質文檔

1

6

DB15接頭

線長20cm

1

7

產品說明書

紙質文檔

1

8

產品合格證

紙質文檔

1

9

產品保修卡

紙質文檔

1

10

產品質檢報告

紙質文檔

1

 

 

 

損耗清單

序號

名稱

型號和規格

數量

壽命時間

1

噴嘴

/

1

2300H

2

電極

/

1

1800H

3

皮帶

/

1

4800H

4

碳刷

/

1

6000H

 

  注:耗材的使用壽命時間與現場的使用條件有關系,以下壽命時間僅供參考。

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